曝光燈使用異常分析-照度異常

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文章出處：Caitlin責任編輯：Caitlin 發表時間：2016-04-14 11:31:00

針對曝光燈照度問題，我們需進行各方面的確認，冷卻系統，安裝有無正確，機器本身，及燈管有無損壞等各方面進行分析來確認來故障發生的原因。

曝光燈在使用時，一般照度低下出現的情況常有的。曝光機使用久了會老化，曝光燈他有使用壽命也有能量的維持率，正常情況一支曝光燈在保用壽命期內只要能量維持率下降情況不超過20%，都屬于照度能量的正常下降。

一般曝光燈能量低下，及維持率下降快，主要是由于設備的不集光、過度冷卻、光學元件老化清潔度、經常性的開關曝光機等引起。

1、由于設備的不集光，會導至露光面照度低下，這種情況是可以對照底進行控制，調整XYZ軸來修正，使照度達到最優;

2、設備過度冷卻，會導至Hg蒸氣密度減少，會引起照低下，并且會使照度下降快;

3、曝光機的光學元件的老化、清潔度，都會至使曝光的照度能量低下，當機器的光學元件老化到一定成度后，我們應及時更換新的光學元件，并定期檢查燈管及配件，及時做好配件老化的更換工作。當曝光機光學元件過多污物灰塵時應請專業人員做曝光機光學元件清潔保養工作。

4、不同的機臺曝光燈照度的維持率是有差別的！

我們在日常使用曝光燈時，應做好曝光燈曝光機光學元件的保養維護工作，來提高曝光的照度。當曝光機光學配件達到一定老化成度及曝光燈達到使用壽命時應做好及時更換工作。