曝光機的原理
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文章出處：萬志宇責任編輯：HE
發表時間：2016-11-18 11:00:00
曝光機基本工作原理：
在計算機的控制下，利用聚焦電子束對有機聚合物(通常稱為電子抗蝕劑或光刻膠)進行曝光，受電子束輻照后的光刻膠，其物理化學性質發生變化，在一定的溶劑中形成良溶或非良溶區域，從而在抗蝕劑上形成精細圖形。
曝光機的應用范圍：
半導體生產線、微電子生產、LCD顯示、LCD顯示、線路板生產、PCB產品。
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